洁净室采样和检测
我们拥有完整的洁净室空气项目测试能力及多项符合国际规范的检测技术,结合全球各实验室的分析检测能力,为电子工业、宇航工业、制药工业等多行业提供无尘无菌空间的空气检测服务,为您解决气态化学污染物质的来源分析,以确保产品质量。

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洁净室
业务挑战

空气分子污染物(AMC)即环境中有能力沉降于表面上形成单分子层(Monolayer)薄膜的气态化学污染物质。AMC是许多高新技术生产流程中关注的问题,有机污染会引起生产工具中不利的影响并增加高科技公司的生产成本。

一、AMC常见来源
1. 生产过程中使用化学品、或因化学滤网效率降低或外泄而产生的物质;
2. 邻厂使用含硫有机溶剂排放的有机硫化物;
3. 石化生产过程排放的挥发性有机化合物及其光化学反应物质;
4. 大气中硫氧化物、氮氧化物;
5. 洁净室部分建材、机具、器材等相关物品所挥发的有机化合物。

二、 制造环境AMC种类SEMI F21-95
1. 酸性(Acids)HF, H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, HBO3等;
2. 碱性(Bases)NH3, (C2H5)3N, C2H7No, (CH3)2NH, (CH3)NH2, (CH3)3N, C6H11NH2, C4H9NO, TMAH, TMDS, HMDS, NMP, DEAE等;
3. 凝结物(Condensables)Silicone, Hydrocarbon等;
4. 掺杂物(Depants)Boron, Phosphorous, Heavy Metal等。

服务内容

我们的测试能力

一、挥发性有机化合物含量分析

二、半挥发性有机化合物含量分析
三、微尘金属及硼磷元素分析
四、无机酸及氨气分析
五、硫氧化物和硫化氢分析
六、空气微粒子数量测定
七、特殊化合物分析
八、微生物分析

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