干货分享 | 你的Local Scrubber真的能有效处理制程尾气吗？

在全球ESG议题持续升温的背景下，我国《中华人民共和国环境保护法》及《大气污染防治法》已针对生产及含VOCs（挥发性有机物）产品的污染防治制定明确规范。

半导体产业作为高科技制造业的核心，其制程环节——包括清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等——均会产生或残留大量废气，涵盖酸碱性气体、有毒气体及臭氧等危害性成分。随着工艺技术不断精进，废气种类与排放量亦随之增加，若未经妥善处理直接排放，不仅对环境造成严重污染，更可能引发AMC分子污染问题，影响先进半导体制程的稳定性与产品良率。

Local Scrubber：半导体制程尾气的关键防线
在半导体制程中，反应腔体（Chamber）或真空管路排出的残余气体需先经尾气处理设备Local Scrubber初步处理，再排入Central Scrubber。

Local Scrubber根据处理气体的不同，设计有瓦斯或电浆燃烧式、水洗式、吸附式等多种类型。由于半导体制造中会使用大量特殊气体，这些气体使用后残余或反应生成的新特殊气体，若不及时通过Local Scrubber去除，可能导致气体泄漏、聚积、风管堵塞、管路腐蚀，甚至引发火灾爆炸，危害现场工作人员安全。

为什么需要关注DRE？
新安装的Local Scrubber设备需通过SEMI S2/S6认证，但长期运行中，其DRE（Destruction Removal Efficiency）的持续稳定才是核心指标。通过对气体使用量、残余量、去除量及排放量的系统性分析，可带来以下效益：

1. 优化气体用量，降低成本
从气体使用量与残余量来看，通过分析可判断气体用量是否过多，进而在不影响制程的前提下调整用量。这不仅能节省成本，减少残余气体量，还能降低 Local Scrubber 的处理负荷，实现节能并延长设备使用寿命。

2. 节能降耗，提升处理效率
就残余量与去除量而言，Local Scrubber 属于高耗能设备，若能在确保达到预期 DRE 的前提下，适当调整瓦斯流量参数或电浆功率，将有效实现节能。

3. 避免Central Scrubber超载
关注排放量，可确保经 Local Scrubber 处理后的废气排入 Central Scrubber 管路时更安全，避免 Central Scrubber 超出处理负荷。

SGS专业解决方案：让尾气处理更可靠
SGS作为国际公认的测试、检验和认证机构，提供以下Local Scrubber尾气处理效能分析与咨询服务：

• Local Scrubber 除害效率检测
• 环境中异味分析检测
• 风管排放组成分析检测
• Process Gas监测及其Clean End Point量测
• 制程气体使用减量专案