超纯水测试

SGS配备高端洁净室、高端分析仪器、超高纯度规格的纯水系统和全套在线检测设备,引进世界先进检测经验和系统,以及资深采样和检测工程师,能够针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务,以确保您的超纯水"超纯",真正达到超洁净度要求。

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  针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务,以确保您的超纯水"超纯"
 

                   ☑ 客户现场在线分析     ☑ 实验室分析

   

 

服务背景

在半导体制作工艺中,50%以上的工序需要晶圆与超纯水直接接触,80%以上的工序需要进行化学处理,而化学处理又与超纯水有关,水中的杂质会进入晶圆,如果带入过量的杂质,就会导致器件性能下降,影响产品性能。因此,制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技术。

纯水&超纯水杂质分类

在半导体生产过程中,各种产品对水的纯度要求各不相同,通常将纯水分为纯水和超纯水两种。超纯水要求所含的悬浮颗粒直径在0.45微米以下,细菌数为0~10个/毫升,25℃时电阻率在10兆欧•厘米以上。在国标GB/T 11446电子级水的技术指标颗粒直径控制甚至比0.1微米更小,25℃时电阻率在18兆欧•厘米以上,I级与II级的杂质要求都是ppt等级。



纯水和超纯水的杂质主要分为三类:

- 痕量金属杂质,容易污染的比如钠、钾、钙、镁、硼等,同时也需要控制特殊工艺受影响的元素。
- 痕量阴阳离子杂质,如常见的阴离子为氟离子、氯离子、硝酸根、硫酸根、磷酸根等,阳离子如铵根、锂、钠、钾、镁、钙等。
- 痕量的有机污染物等。


由于杂质要求达到ppt等级时,电导率不再是可以表征超纯水中杂质,特别是金属杂质和阴阳离子杂质的有效手段。只有通过用先进的分析仪器来测定金属和离子的真实含量,才能了解超纯水的真实质量。

服务内容

和一般的测试不同,超纯水对测试系统的要求非常高,包括采样环境、采样设备、人员的经验和样品运输,以及测试的时效性都是影响超纯水测试结果的重要因素。

SGS配备高端洁净室、高端分析仪器、超高纯度规格的纯水系统和全套在线检测设备,引进世界先进检测经验和系统,以及资深采样和检测工程师,能够针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务,以确保您的超纯水"超纯",真正达到超洁净度要求。


  ┃  样品采集


资深SGS工程师前往客户现场进行采样及在线测试,更符合极端水质验证要求。

SGS提供经验证的干净采样瓶供客户免费使用,同时提供采样指引,由客户采集样品并寄送样品到SGS实验室进行分析,此种是SGS推荐的最佳服务方式,既保证测试结果又节省费用支出。
客户使用自己的采样瓶并采集样品寄到SGS实验室进行分析,采用这种方式可兼顾客户对样品瓶的验证。

  ┃  样品测试


▪ 客户现场在线分析
在线总有机碳(TOC)测试、在线微粒子(Particle)测试、在线电导率测试、在线溶氧测试,及在线细菌采集等


▪ 实验室分析
金属含量、二氧化硅、阴阳离子、总有机碳(TOC)、微粒子(Particle)、菌落总数、电导率、PH、碳酸根CO₃²-、溶氧、可溶解硅等。

我们的优势

专业级实验室及顶尖技术团队
 SGS拥有完善的测试能力及顶尖的技术团队,依凭尖端精准的仪器分析设备和洁净的实验环境,积累了丰富的测试经验,确保测试数据准确可靠,为您提供高效、优质的测试服务;
高质量品质背书
 SGS是国际公认的检验、鉴定、测试和认证机构,为您提供高质量品质背书;
完善的服务网络
 SGS拥有遍布全球的实验室网络,为您提供完善的一站式测试认证解决方案。

服务流程


1. 咨询客服

2. 申请测试

3. 支付费用

4. 样品分析

5. 获取报告

在线咨询
沟通业务需求

确定服务项目
填写测试申请单

支付测试费用
并提交开票资料

客户寄样/
SGS现场采样
进行样品分析

测试完成
获取测试报告

 

* 备注:SGS将提供样品瓶及采样指南,以便您顺利完成采样。

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