SEMI认证是一种自愿性认证,目前主要是买家指定标准,委托第三方对设备进行评估。
SGS是SEMI组织官方会员,上海实验室注册在案(注册编号201612),SGS是SEMI CHINA认可实验室之一,SGS作为全球知名的测试、检验和认证机构,为客户提供专业的SEMI认证咨询相关服务。
SEMI S系列与设备相关安全标准:主要参考标准
● S2 – 关于半导体制造设备的环境、健康和安全要求
● S8 – 设备操作时的人体工效学设计要求
● S1 – 危险警告标识
● S3 – 工艺流体加热系统要求
● S6 – 排放通风要求
● S12 – 污染处理
● S13 – 设备文件要求
● S14 – 防火风险分析
● S16 – 设备报废处理
● S17 – 无人搬运系统(UNMANNED TRANSPORT VEHICLE (UTV) SYSTEMS)
● S22 – 电气设计要求
● S23 – 能源及耗材使用的测量
● S26 – 平板显示器制造设备的环境健康安全要求