技术干货 | 电子产业中，无尘擦拭布的洁净度决定成败？

在快速发展的电子、光电和半导体产业中，无尘擦拭布不可或缺。它们不仅提高了产品功能性，还有效避免了生产过程中的污染问题。本文将探讨无尘擦拭布的关键特性，以及如何挑选合适的无尘布，以及它们在产业中的应用和重要性。

无尘擦拭布，是一种用于清洁产品表面，避免对制程造成污染的专用布料，被广泛应用于电子、光电和半导体产业。无尘擦拭布在这些产业中扮演着至关重要的角色。

为什么选择无尘擦拭布？
无尘擦拭布之所以受到青睐，是因为它具备以下几种特性：

• 超长纤维
• 冷裁、热融、超音波、雷射切割
• 特殊洗净程序（低离子释出量）
• 低发尘性
• 吸水性佳
• 表面柔软，擦拭时不会刮伤产品

为什么关注无尘擦拭布的洁净度？
选择无尘擦拭布时，主要从物理特性和洁净度两个层面来考虑。物理特性主要是为了验证清洁效果和耐用性等方面，但为什么无尘擦拭布会需要进行洁净度测试？洁净度对使用无尘擦拭布会产生什么影响？

在光电和半导体产业中，控制制程良率的关键在于对污染源的严格管理。无尘擦拭布的洁净度直接影响到产品的质量，因为污染物可能来自多个源头：

• 原物料的洁净度
• 制程纯水的品质
• 制程特用化学品的品质
• 人员带来的污染，如汗液、毛发、皮屑和化妆品等
• 机台设备的污染
• 使用工具、器具的污染
• 厂区空降污染分子 (AMC)
• 包装材料的污

无尘布在擦拭产品或机台时，都可能对产品造成直接污染。其污染物种类大致可为以下几种：

• 无机污染物
• 有机污染物
• 生物污染物
• 微尘 (Particle) 

污染物可能会造成以下影响：

• 离子含量过高可能影响产品的电性，甚至导致氧化、生锈或腐蚀。
• 某些离子或金属可能造成光罩或玻璃基板表面的雾化现象
• 金属含量过高可能造成微细线宽之间的短路现象
• B、P等化合物可能造成硅晶元表面结构的变异
• 有机污染物在空气中挥发后，沉积在物体表面可能引起光罩雾化或蚀刻不良
• 大分子的有机物（如Silicone等）可能导致线路绝缘性能下降，从而影响导电性
• 微尘污染可能在电子零件运转时造成零件表面的刮伤等状况

由于上述各种污染物对电子产品和半导体产品可能造成的影响，无尘擦拭布的洁净度测试变得至关重要。不同用途的无尘擦拭布需要根据其功能性或污染控制的具体要求进行相应的洁净度测试。

SGS半导体超痕量分析实验室
SGS半导体超痕量分析实验室可为您提供无尘擦拭布的物理特性和洁净度分析的全方位测试服务，帮助您确保无尘布在不同用途下都能满足特定的功能性和污染控制要求。

无尘布的物理特性测试项目

• 基重
• 吸水度
• 吸水速率
• 表面阻抗值
• 静电值
• 抗张强度

洁净度测试项目

• 不挥发残余物（NVR）
• 特殊有机化合物（Silcone, Amide, DOP）
• 阴阳离子含量（Anions & Cations）
• 金属元素含量（Metals）
• 微粒子数（湿式法）
• 微粒子数（干式滚筒法）