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干货分享 | 藏在洁净室里的小秘密!

干货分享 | 藏在洁净室里的小秘密!

原创
2024-10-18 17:00:00
技术文章
作者: SGS_SEMI
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铁头,是国内某家电子器件厂的场务工程师,每天忙碌于厂房的大小事务,但他乐在其中。因为他的心中还藏着一个不为人知的小秘密——对同事轩然的暗暗倾慕。

在厂房内,每个人都穿着全套式的无尘服,铁头总是偷偷欣赏轩然那双水汪汪的大眼睛,因为这是唯一能从无尘衣中露出的部分。

但铁头还是对需要穿全套式无尘服存在不解,于是向领导询问:“为什么我们不是半导体厂也需要洁净室生产?还需要穿全套式无尘服?”

领导告诉铁头,说:“随着科技产品越来越精密,无论是数字芯片、模拟芯片、光电器件还是其他精密仪器,都需要在控制洁净度的环境下生产,才能确保产品不受微粒、尘埃、微生物和其他污染物的影响。所以我们在一个千级及百级洁净室内必须穿戴全套式的无尘服。”


洁净室洁净度


洁净室,也称为无尘室,是一种特殊设计和建造的环境,它的主要功能是控制空气中的微粒、尘埃、微生物和其他污染物的浓度,为制造和科学研究提供极低微粒水平的空气环境,以确保在其中进行的工作或生产过程不受到外部环境的污染影响。这对于半导体制造、医药生产、生物科技等对微细粒子敏感的行业至关重要。此外,洁净室内的生产设备也需要符合洁净等级的要求,以避免污染产品和洁净室。

洁净室的洁净度水平通常根据国际标准和规范进行分类,如ISO 14644-1标准。这个标准将洁净室分为不同的类别,从Class 1(最低微粒浓度)到Class 9(较高微粒浓度)。洁净度使用的自动化设备试用评估是参考ISO 14644-14标准。

ISO14644-1洁净室利用空调系统的净化作用将空气中的悬浮微粒子颗粒浓度 (颗粒/空气体积) 控制到一定限量以下, 根据空气中颗粒浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度的等级 (如下表)

表


ISO 14644-14 设备评估基于ISO14644-1基础上,可依照以下流程进行评估:

流程


SGS服务内容

洁净室设计与建造

  • 设计图制作 
  • 建造 (含空调确效)
  • 次系统 - 超纯水系统、压缩空气系统建置
  • 改善工程

洁净室训练与顾问

  • 代稽核供货商洁净室
  • 洁净室现场评估与改善建议
  • 洁净室训练课程
  • 建置洁净室管理系统与文件

洁净室量测与确认

  • ISO14644-1 洁净室等级确认 (HVAC system validation) 与符合性证书
  • ISO14644-2 洁净室连续符合性确认
  • ISO14644-8 / SEMI F21 空降分子污染(AMC)
  • ISO14644-14 生产设备在洁净室使用适用性评估(微粒逸散浓度)
  • ISO8573 压缩空气洁净等级量测
  • ISO3696 超纯水品质量测
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