质控AMC · 智局新净界
半导体AMC气相分子污染物环境监测与质控研讨会
时间：2025年3月28日 13:00-16:30
地点：上海国际绿色低碳概念验证中心
半导体工艺的革新正以前所未有的速度推动产业升级，然而，AMC(气相分子污染物)对制程良率的隐形威胁，已成为横亘在高端芯片制造领域的严峻挑战，如何实现AMC的精准监测与控制，不仅关乎企业成本，更是半导体行业当前亚待解决的重要课题。
值此全球半导体风向标——上海国际半导体展览会（SEMICON China 2025）举办之际，SGS携手复旦大学、上海国际绿色低碳概念验证中心共同举办“半导体AMC气相分子污染物的环境监测与质控研讨会”。本次研讨会将汇聚行业专家，共同探讨半导体行业微环境监测与治理的行业经验与愿景，深入分析AMC污染问题及其解决方案，为行业发展提供有力支持。
诚挚邀请您的参与！
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时间
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会议议程
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13:00-13:30
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会议签到
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13:30-13:40
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领导致辞
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13:40-14:10
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半导体环境的离线AMC测试方法介绍
——李宗河，SGS半导体超痕量实验室 技术经理
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14:10-14:40
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从监测到净化：半导体生产环境AMC污染控制研究综述
——王丽娜，复旦大学 环境科学与工程系研究员
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14:40-15:20
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参观复旦东部研究中心实验室/茶歇
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15:20-15:50
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快速质谱在实时检测 AMC气态污染物的应用分享
——谭稳，Tofwerk China/南京拓服工坊 高级技术经理
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15:50-16:20
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半导体环境针对AMC污染的治理方法和措施
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16:20-16:30
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研讨会结束
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嘉宾价绍
李宗河-SGS半导体超痕量实验室 技术经理
20多年半导体检测品质保证经验,精通半导体厂房、设备及原物料的洁净度评估、采样分析、实验室分析、解决方案,为台积电、ASML、东京威力、日月新、盛美半导体、中芯国际、APPLE等500+海内外厂商提供专业服务与咨询。
王丽娜-复旦大学 环境科学与工程系研究员
复旦大学环境科学与工程系研究员、博士生导师，长期致力于环境健康与解决方案研究，担任上海市室内环境净化行业协会副会长，中国分析测试协会质谱分会委员，《中国环境科学》青年编委。
谭稳-Tofwerk China/南京拓服工坊 高级技术经理
博士，在挪威奥斯陆大学和瑞士Tofwerk AG公司工作多年，长期从事化学电离质谱技术在气态挥发性有机物和无机物的监测应用工作，目前已发表30多篇气态污染物监测相关SCI论文，授权发明专利3项，参与编制多项行业标准。
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