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ISO8573
压缩干燥空气 (CDA) 洁净度检测
什么是压缩干燥气体(CDA)?所谓压缩干燥气体(CDA)是取之于大气经压缩机压缩后除湿,再经过滤器或活性碳吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给至无尘室内使用。但外在环境空气中或是空压机运作时往往会含有或是产生:水气、油份、一氧化碳、二氧化碳、异味、污染微粒...等物质,而这些物质的多少,则会影响您所使用的压缩空气质量,也相对会影响产在线的产品及无尘室内环境。因此建议针对光电面板制程,半导体制程,生化医药制程压缩气体管路(P-CDA)及驱动用气体管路(D-CDA)对其可能残余之污染物均需加以监控。
压缩干燥气体(CDA)洁净等级市面上有许多空压机号称无油来供应客户, 但是在没有注意或缺于保养及耗材零件质量不良时, 常会有较高的污染, 造成产品良率的影响。由于新机建置相对于一般空压机相对较高, 但是后续更换过滤耗材的成本与保养费用在营运周期中将逐渐浮出较高的费用, 大部分空压机注重于后端的过滤系统,将其油份降到标准以下,最终压缩机空气质量的洁净度依据ISO8573的标准,定义其ISO等级 (如下表):ISO8573-1 : 2010 Class 0表示空氣品質系統出口經過國際認證校準儀器或確效儀器所量測結果均不能出現任何顆粒物質 (Particle顆粒數量 / 每立方), 水氣 (Vapor and Liquid) 或油氣 (Oil Vapor and Aerosol Liquid) 在壓縮空氣之中。
SGS 依据 ISO 8573 针对 CDA 中会影响制程良率的各项重要指标,提供安装后及使用期间定期检测之服务。测试项目:● 金属元素分析● 油份含量(总碳氢化合物)分析● 微粒子数分析 (0.1um ~10um )● 酸碱气体含量分析 (阴阳离子)● 水份及露点分析● 微生物污染分析● 其他有机污染物分析● CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析● 过滤效率评估
SGS 压缩干燥气体(CDA)洁净度检测能提供各种模式的服务☑ 压缩干燥气体(CDA)洁净度等级确认
SGS 依据客户端压缩机的使用用途,依据产业法规与制程工艺洁净室量测与确认。☑ 压缩干燥气体(CDA)等级符合性证书
依据测试结果与ISO 8573标准,判断其等级出具证明 。☑ 压缩干燥气体(CDA)品質改善
针对不达目标压缩空气质量,透过SGS的建议改善与再确认,达到客户最终使用质量需求。
一、依据不同服务,样品有以下几种流程:1.客户直接送样分析2.SGS提供样品瓶和采样指南,客户采样,寄送SGS分析3.SGS现场采样, 工程师带回实验室分析4.SGS工程师在现场检测分析二、实验室分析三.获取报告
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