SEMI F57超纯水和液体化学品输送系统的高纯度聚合物材料和组件规范

SEMI F57规定了适用于在超纯水分配系统中输送超纯水的超高纯度(UHP)聚合物材料和部件的最低性能要求,针对聚合物材料和组件的性能和验证。SGS协助聚合物材料及其组件制造商、与化学品与超纯水系统供货商和各大光电半导体厂符合 SEMI F57 系统下的各项测试要求,确保您的聚合物材料和组件符合半导体SEMI F57规范。

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SEMI F57超纯水和液体

化学品输送系统的高纯度聚合物材料和组件规范

SEMI F57 丨 聚合物和组件性能     超纯水和液态化学品输送
 
 

 

服务挑战

SEMI是国际半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程要求工艺使用的超纯水,超纯化学品的纯度越来越高,污染物水平越来越低,用于超纯水,超纯化学品运输和储藏的系统和和部件不能带入污染。虽然在超纯水与化学品的质量都有相对应的标准与规范,大部分都是末端标准,对其各个组件的制造商来说,是无法直接应用。

目前在SEMI系列规范中,SEMI F57:用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及其组件规格,是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件,SEMI F57规定了适用于在超纯水分配系统中输送超纯水的超高纯度UHP)聚合物材料和部件的最低性能要求,针对聚合物材料和组件的性能和验证。

需要执行SEMI F57的部件
需要执行SEMI F57的部件

离子污染標準
离子污染标准

金属污染標準
金属污染标准

总有机碳 (TOC)標準
 总有机碳标准

表面粗糙度标准
表面粗糙度标准

服务内容

SGS 协助聚合物材料及其组件之制造商与化学品与超纯水系统供货商及各大光电半导体厂符合 SEMI F57 以下的测试要求。

Quantitative Measures of Compliance 定量要求
Particle Contribution Limits 颗粒限值
Metallic Contribution Limits 金属元素限值
Ionic Contribution Limits 离子限值
Total Organic (Oxidizable) Carbon Contribution Limits 总有机碳限值
Surface Roughness Limits 表面粗糙度限值

Qualitative Measures of Compliance 定性要求
Mechanical Properties 机械性能
Physical Properties 物理性能
Chemical Resistance 耐化学性
Reliability, Traceability Requirements 可靠性、可追溯性要求
Packaging Requirements, Certification 包装要求、认证

我们的优势

SGS提供全面的SEMI F57检测与顾问服务
  完整的问题解决

  尖端的分析设备
  专业的分析人才
  洁净的实验环境

  亲切的客户服务
  合理的收费标准

服务流程

咨询客服业务报价

邮寄样品

实验室检测

出具报告

售后支持

1. 咨询客服

2.业务报价

3. 邮寄样品

4. 实验室测试

5. 出具报告

6.售后支持

客户联系实验室提出详细要求

业务代表报价和客户签订合同

客户确定样品并与业务申请单邮寄

测试审核不符合项整改确认

按照测试结果实验室出具报告

售后技术支持和讨论

 

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