实战解决方案
1. 材料选型铁律
选择Tg>170℃、CTE<3.5ppm/℃的高频板材,搭配低粗,糙度RTF/HVLP铜箔(Rz≤5μm),减少高频损耗
2. 激光工艺黄金参数
紫外激光(波长355nm)+能量密度3.5-4.2J/cm² +多脉冲,渐进烧蚀 ,塑造良好孔型
3. DFM设计规范
盲孔直径≤150μm,深径比≤0.8,相邻孔中心距≥3倍孔径,盲孔堆叠≤3阶,增强可制造性
4. 孔金属化监控
盲孔底铜厚度>6μm,定期检测电镀设备及电镀药水稳定,保证制程稳定
5. 可靠性测试
采用热循环测试、热冲击测试、互连应力测试、插入损耗测试等验证盲孔开路及材料组合的潜在风险

热冲击测试电阻变化率
失效分析黑科技
- 3D X-Ray断层扫描:清晰观察失效位置,精准无损定位微裂纹

3D X-Ray扫描成像示意图

扫描电镜工作原理图