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干货分享 | 高加速应力试验(HAST)全面解析:从试验条件到失效机制

干货分享 | 高加速应力试验(HAST)全面解析:从试验条件到失效机制

原创
2025-06-19 17:00:00
技术文章
作者: SGS_SEMI
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高加速应力试验(HAST, High Accelerated Temperature And Humidity Stress Test)是评估器件在潮湿环境下可靠性的关键测试方法。该试验严格遵循 JESD22-A110 标准,通过施加恶劣的温度、湿度和偏压条件,加速器件内部的迁移、腐蚀等老化过程。目前,HAST 试验已广泛应用于 IC 半导体、光伏组件、线路板、磁性材料以及高分子材料等相关器件的可靠性验证领域。

HAST试验条件
在AEC-Q100标准中,明确规定了两种可供选择的HAST试验条件:

  • 130℃/85%RH/96小时
  • 110℃/85%RH/264小时

这两种条件均通过直流电源对器件施加偏压,且等效于 THB(85℃/85% RH/1000 小时)试验,但显著缩短了测试周期。

表1 :温度、相对湿度、气压和持续时间

表1 :温度、相对湿度、气压和持续时间


进行 HAST 试验的器件需经过预处理,并在试验前后进行电参数测试。试验结束后,应在 48 小时内完成电参数测试;若中途读点拿出测试,需在 96 小时内完成。若器件置于密封防潮袋中,测试时间可延长至 144 小时。


HAST 偏置电压模式及选择要点
HAST 加偏置电压需遵循以下规则,以器件特性为优先级依据:

  • 最大限度降低器件功耗
  • 尽量采用引脚交替偏置方案
  • 金属层电势差要尽量分散排布,避免局部金属层累积过大压差导致电迁移等问题
  • 在器件允许范围内尽量提高工作电压以优化性能


偏置电压模式主要有两种:

  • 持续加电模式:用于评估长期直流稳定性,如电迁移、栅氧退化等失效机制。适用于低功耗器件(DUT 功耗<200mW),或结温 Tja 不超过腔体环境温度 + 10℃的器件。
    • 优点:可模拟器件真实长期运行状态;
    • 缺点:功耗较大,易导致器件自发热,从而抑制湿度相关失效。

注意:当器件结温超过腔体环境温度 5℃以上时,需在测试报告中明确标注温升值。

  • 周期加电模式(推荐50%占空比):用于评估湿度敏感失效,适用于高功耗(ΔTja>10℃)器件或需模拟间歇工作场景的器件。断电期间允许湿度在器件表面积聚,加速湿度相关失效;通电期间发热,驱散湿气。
    封装厚度与最大循环周期的关系如下:

封装厚度与最大循环周期的关系

 

HAST测试设备

高加速寿命试验箱

高加速寿命试验箱

  • 温度范围: + 105℃~+ 142℃
  • 湿度范围: 75%RH~100%RH
  • 压力范围: 0.02MPa~0.196MPa


HAST 失效现象
HAST 试验中,器件可能出现以下失效现象:

  • 金属腐蚀:高温高湿环境加速水汽渗透入塑封壳内,导致金属元件和导线上产生氧化物和腐蚀,可能引发短路等现象。
  • 绝缘材料老化:高温高湿环境使绝缘材料中的水分析入,加速绝缘材料老化,可能引起漏电等现象。
  • 焊点开裂:装材料与芯片框架的热膨胀系数不同,在高温高湿环境下可能造成焊点开裂,引发接触不良等问题。
  • 爆米花效应:由于封装体在高温下内部水分汽化而产生爆裂现象。

这些失效现象会严重影响器件的性能和可靠性,因此在进行 HAST 试验时,需密切关注这些方面的问题。


HAST 试验作为一种快速高效的加速老化测试方法,能够在短时间内准确评估器件在潮湿环境中的可靠性,对于提高电子器件的质量和稳定性具有重要意义。

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