干货分享 | 半导体超纯水/湿化学品输送合规关键：SEMI F57聚合物材料规范全解读

在半导体制程中，超纯水与湿化学品的纯度堪称 “芯片良率的生命线”—— 哪怕是微克级的金属离子、痕量的阴离子杂质，都可能导致晶圆表面出现缺陷，直接拉低生产良率。而这些高纯度流体从供应端到制程设备的 “最后一公里”，全靠输送系统的聚合物材料 “保驾护航”。为确保输送系统自身不成为污染源，SEMI F57规范应运而生，成为全球半导体行业在选择聚合物材料与组件时最具参考性的准绳。

SEMI F57：解决半导体输送系统的 “隐形污染” 难题
在SEMI standard中，半导体厂务端的F系列标准聚焦系统级质量管控，而SEMI F57则专门针对超高纯度（UHP）聚合物材料及组件—— 这类材料是超纯水/湿化学品输送系统的 “核心骨架”。 为同时满足超高洁净度与耐化学腐蚀的要求，半导体厂广泛采用超高纯度含氟聚合物来制造输送系统组件，从管路、配件、阀门、过滤壳体，到传感器、流量计、计量器等，几乎覆盖了输送系统的所有关键环节。

SEMI F57的核心目标，就是通过明确 “最低性能要求”，确保输送系统的材料/组件不会成为“污染源头”，让末端制程使用的流体纯度与供应端保持一致，最终保障芯片良率。

四大核心参数：直击 “污染风险点”
SEMI F57主要从以下四个维度对材料和组件进行严格管控：

• 阴离子污染
• 金属离子污染
• 总有机碳 TOC
• 表面粗糙度

此外，标准还对材料的机械性能、物理性能、耐化学性、可靠性与可追溯性提出了全面要求。

哪些组件要测？一张表理清SEMI F57的测试覆盖范围
不同组件需满足的测试项目各有侧重。下表清晰列出了各类组件的强制测试要求：

SGS专业支持，助力国产材料破局
面对严格的SEMI F57标准，材料供应商与组件制造商需要可靠的合作伙伴。SGS半导体超痕量分析实验室凭借顶级的洁净环境、高端的分析设备与丰富的项目经验，可为您提供全方位的测试与咨询服务：

• 原材料把关：对颗粒、粉末等原料进行严格筛查。
• 生产过程监控：涵盖机台清洁度、包装材料、纯水系统及生产环境。
• 成品合规性测试：依据SEMI F57标准，提供权威的阴离子、金属离子、TOC及表面粗糙度测试。
• 国产替代赋能：已协助多家国内超高纯度聚合物厂商完成产品研发与合规验证，助力实现国产化替代。