技术干货 | 半导体高效生产运营的关键——厂务系统 (FMCS)

水与气的精细化管理
为了确保设备正常运行，就需要利用各种质量数据来协助管理，这些数据可能来源于厂务端的监测设备，或者通过实验室采样检测获得。在FAB中，水、气、电等设备的质量管理对生产制造的良率有着显著影响。

• FAB的水管理
  从取水来源、纯水制造、纯水设备维护保养、纯水品质指标控制到水的回收利用与废水处理等，每个环节都需要精确控制，确保水质符合生产要求。
• FAB的气管理
  包含新风系统的运作、空调系统的维护保养、高效滤网与化学滤网的管理、厂内空气质量指标控制、压缩空气系统维护保养、压缩空气质量的指标控制等，以确保生产环境洁净、稳定。
  
  

SGS：您的厂务系统专家
SGS半导体超痕量实验室拥有海内外丰富的FAB厂务系统合作经验，提供全面的品控指标采样与分析服务，助力您的厂务系统高效运行。

SGS为您提供以下服务：

• 洁净室洁净指标分析 (ISO 14644)：颗粒、风速、风量、压差、温度、湿度、气流、静电
• 洁净室SEMI F21 AMC (空降分子污染)：空气中酸碱离子、有机气体 、金属与硼磷浓度
• 洁净室高效滤网与化学滤网的过滤效率
• 纯水系统指标分析(GB/T 11446)：阻抗、颗粒、阴阳离子、微量金属、TOC（总有积碳)、硅（二氧化硅、可溶解硅）、细菌含量等颗粒、风速、风量、压差、温度、湿度、气流、静电
• 纯水管路使用材料品质 SEMI F57测试：阴阳离子、微量金属、TOC (总有积碳)、表面粗燥度
• CDA (压缩空气) 质量分析 (ISO 8573)：油份、水分、颗粒、细菌
• CDA (压缩空气) 过滤器效果分析 (ISO 12500)