干货分享 | 半导体制程气体分析的六大挑战

半导体制造过程中使用的气体种类繁多，这些气体大致上可区分为大宗气体与特殊气体。从制程功能的角度来看，气体的分类更为细致，包括反应用气体、清洗用气体、燃烧用气体、载气等。

在半导体制造的微观世界里，制程气体扮演着至关重要的角色，它直接影响工艺精度、产品良率以及生产安全。然而，这些气体的分析与监测却面临着诸多挑战。

■ 挑战1：超高纯度与痕量杂质检测
半导体制造对制程气体的纯度要求极高，像氩气、氮气、硅烷等气体，其纯度需达到 ppb（十亿分之一）甚至 ppt（万亿分之一）级别。因为哪怕是一丁点的微量杂质，如水分、氧气、颗粒物等，都可能导致晶圆缺陷。
传统检测技术（如气相色谱、质谱），在灵敏度与抗干扰能力方面存在不足。高分辨率质谱（HRMS）和激光光谱技术（如 TDLAS）应运而生，但这类设备不仅成本高昂，维护难度也极大。

■ 挑战2：复杂混合气体的实时分析
半导体工艺中，常常会用到多组分的混合气体（如 C4F8/O2/Ar 蚀刻气体）。分析时需同时监测主成分、副产物（如 CFx、聚合物）及残留物，但不同气体的光谱或质谱信号可能重叠（如N₂与CO的质荷比相近），导致检测结果混淆。
更具挑战性的是，快速工艺（如原子层沉积ALD）要求分析系统具备毫秒级响应能力，而传统采样方法因延迟问题难以满足。

■ 挑战3：极端环境下的分析可靠性
半导体制造环境可能涉及高温（>500℃）、高压、等离子体或腐蚀性气体（如Cl₂、HF）。这些极端条件对传感器材料构成了严峻挑战，容易导致传感器腐蚀或热漂移，从而影响分析结果的准确性(如金属氧化物半导体传感器在HF环境中可能会失效，而等离子体则会干扰光学检测信号)。

■ 挑战4：毒性/易燃气体安全监测
硅烷（自燃）、砷烷（剧毒）、六氟化钨（强腐蚀）等气体一旦泄漏，可能引发严重的安全事故。因此，需要在极低浓度（ppm级）下快速检测这些气体，同时避免因环境干扰导致的误报。

■ 挑战5：数据分析与系统整合
制程气体分析产生的海量数据需要实时处理，并与制程设备（如MES系统）进行联动。此外，多源数据（如气体浓度、流量、温度）的同步与关联分析也是一大挑战。

■ 挑战6：新兴工艺带来的新需求
随着半导体技术的不断发展，先进制程（如3nm以下）、第三代半导体（GaN、SiC）及EUV光刻技术等新兴工艺对气体提出了更高的要求。例如，EUV光刻需要控制H₂中的CO杂质，以防止镜面污染；SiC外延生长需要精确调控SiH₄/C₃H₈比例，传统热导检测器（TCD）因动态范围限制难以胜任。

在半导体制程中，气体分析的关注点不仅涵盖一般气体标准中的纯度项目，更多杂质项目（包括金属、离子、颗粒等）同样是关键监测对象。由于不同气体特性差异显著，分析时需针对其特性，采用专用或特殊设计的实验室分析仪器或线上分析仪器。

SGS半导体超痕量分析实验室

此外，实验室的安全设施与尾气处理系统也是必需考量要素，需确保在气体分析过程中有效控制安全风险及环境影响。而在特殊气体的取样（采样）环节，其技术要求与安全防护的重要性甚至高于分析环节本身。

SGS已在台湾与爱尔兰建立了完善的半导体气体分析能力，检测范围覆盖纯度、杂质、水分、氧气、颗粒、金属、离子等多项指标；SGS位于上海的半导体超痕量分析实验室目前已具备部分检测能力，并正积极拓展更齐全的分析服务，以满足半导体行业日益严苛的气体检测需求。